適用于晶圓磨削的磨削氣浮主軸
分類(lèi)：
氣浮軸承
關(guān)鍵詞：
hjc888黃金城
產(chǎn)品詳情
最高轉(zhuǎn)速7000rpm。
徑向跳動(dòng)小于2μm，軸向跳動(dòng)小于2μm。
極小的形位公差與氣膜厚度帶來(lái)超高的剛度，徑向剛度200N/μm，軸向剛度400N/μm。
采用高性能空氣靜壓軸承支撐，具有極高的動(dòng)態(tài)回轉(zhuǎn)精度。
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